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产品编码：84862022
产品描述：制造半导体器件或IC的物理气相沉积装置　　　　数量单位：台
2015年中国出口总数量： 567 进口总数量： 290
2015年中国出口总金额（美元）：34344959 进口总金额（美元）：218841856

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产品编码：84862029
产品描述：其他制半导体件或集成电路用薄膜沉积设备　　　　数量单位：台
2015年中国出口总数量： 299 进口总数量： 122
2015年中国出口总金额（美元）：6434903 进口总金额（美元）：93766106

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产品编码：84862031
产品描述：制半导体器件或集成电路用的分步重复光刻机　　　　数量单位：台
2015年中国出口总数量： 1472 进口总数量： 191
2015年中国出口总金额（美元）：2907928 进口总金额（美元）：586238873

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产品编码：84862039
产品描述：其他投影绘制电路图的制半导体件或IC的装置　　　　数量单位：台
2015年中国出口总数量： 3213 进口总数量： 301
2015年中国出口总金额（美元）：8506642 进口总金额（美元）：313460228

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产品编码：84862041
产品描述：制造半导体器件或IC的等离子体干法刻蚀机　　　　数量单位：台
2015年中国出口总数量： 65 进口总数量： 653
2015年中国出口总金额（美元）：52343738 进口总金额（美元）：961691043

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产品编码：84862049
产品描述：制造半导体器件或IC的其他刻蚀及剥离设备　　　　数量单位：台
2015年中国出口总数量： 67 进口总数量： 436
2015年中国出口总金额（美元）：2038228 进口总金额（美元）：190855440

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产品编码：84862050
产品描述：制造半导体器件或集成电路用的离子注入机　　　　数量单位：台
2015年中国出口总数量： 16 进口总数量： 90
2015年中国出口总金额（美元）：790867 进口总金额（美元）：209944371

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产品编码：84862090
产品描述：其他制半导体器件或集成电路用的机器及装置　　　　数量单位：台
2015年中国出口总数量： 1461 进口总数量： 3039
2015年中国出口总金额（美元）：66237392 进口总金额（美元）：550404774

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产品编码：84863010
产品描述：制造平板显示器的扩散、氧化等热处理设备　　　　数量单位：台
2015年中国出口总数量： 153 进口总数量： 414
2015年中国出口总金额（美元）：54189 进口总金额（美元）：269696416

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产品编码：84863021
产品描述：制造平板显示器用的化学气相沉积设备（CVD）　　　　数量单位：台
2015年中国出口总数量： 168 进口总数量： 50
2015年中国出口总金额（美元）：1025100 进口总金额（美元）：436617986

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